Исследованы особенности дифракции конических световых пучков применительно к отражению от цилиндрической поверхности. Разработан алгоритм обработки профилограмм, учитывающий специфику интерференционного поля, формируемого в профилометрах с коническими пучками. Предложен и экспериментально протестирован ряд оптических схем профилометров на основе конических пучков. Высокое быстродействие и разрешение, компактность и виброустойчивость предложенных схем позволяют считать их перспективными для применения в условиях производства.

The peculiarities have been investigated of diffraction of conical beams applied to the reflection from a cylindrical surface. The algorithm has been developed of processing profilogram, which takes into account the specific of the interference field formed in profilometers with conical beams. A number of optical schemes based on conical beams has been proposed and tested experimentally. High fast-acting and resolution, compactness and vibrostability of the proposed schemes allow considering them perspective for application in industrial conditions.